廃液回収装置

廃液の中の高価フッ素系溶剤の高純度回収を実現。
ランニングコストを低減するとともにフッ素イオン除去も出来ます。
クリーンルームに対応しており、装置に付帯することで溶解成分を低いレベルで保ち、高レベル洗浄を実現します。

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ガス回収装置

弊社独自の冷却システムの別置きタイプ。 フッ素溶剤等、使用溶剤のさらなる削減を可能にします。

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水分除去装置

フッ素溶剤を繰り返し使用していくと溶剤に水分が溶解します。
高レベル洗浄を目指す場合の水分を安定させる装置です。

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超精密循環装置

タンク 蓄積異物 0.5~20μの除去装置
切粉、半田ボール 等、タンク内清掃が液を抜かずにできます。

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