新オオツカ株式会社はお客様の対象部品がご満足の行く洗浄精度が確保できるかどうか事前に確認するため、お引き合いの段階で当該商品をテストルームに於いて必要な溶剤と共に検証させていただきます。
テストルームでは洗浄装置の他下記のような分析装置各種を取り揃えております。
電子天秤、金属顕微鏡、パーテクルカウンター 油分測定器 等
テストルーム
分析機器
スピンコータ：POLOS-SPIN150（SPS-Europe）
汚染ウエハー作成用 ウエハースピンコーター
汚染ウェハの作成方法
- スピンコーターにウェハをセット
- 汚染パーティクル調整液を撹拌し上澄みを約2ml スポイトで吸引
- スピンコーターを0 から500rpm/s まで100rpm/s の速度で回転数を増加させる過程で、スポイトの調整液を滴下
- 500rpm で10 秒間回転後、1000rpm/s の速度で2000rpm に回転数を増加
- 2000rpm で35 秒間回転させて乾燥
ＹＰＩーＮシリーズ( 自動搬送) ウェーハ表面検査装置
〈装置仕様〉
- 対応基板サイズ
最大200mm×200mm - スキャン方式
ＸーＹスキャン／θーＸスキャン( 螺旋スキャン) - スループット
□200mmを約４分／Φ200mmを約３分 - ワーク装置
搬送ロボット( 裏面吸着／エッジクランプ) - 装置外形寸法
W1,320mm×D1,000mm×H1,700mm - 本体重量
約800 kg - 消費電力
約1.5kW(100V) - 検査対象基板
Ｓi ウェーハ、各種膜付きウェーハ - 最小検出感度
Ｓi ウェーハ時、0.1μｍ
