テストルーム・分析機器。

汚染ウエハー作成用　ウエハースピンコーター

汚染ウェハの作成方法

1. スピンコーターにウェハをセット
2. 汚染パーティクル調整液を撹拌し上澄みを約2ml スポイトで吸引
3. スピンコーターを0 から500rpm/s まで100rpm/s の速度で回転数を増加させる過程で、スポイトの調整液を滴下
4. 500rpm で10 秒間回転後、1000rpm/s の速度で2000rpm に回転数を増加
5. 2000rpm で35 秒間回転させて乾燥

ＹＰＩーＮシリーズ( 自動搬送) ウェーハ表面検査装置

〈装置仕様〉

• 対応基板サイズ
  最大200mm×200mm
• スキャン方式
  ＸーＹスキャン／θーＸスキャン( 螺旋スキャン)
• スループット
  □200mmを約４分／Φ200mmを約３分
• ワーク装置
  搬送ロボット( 裏面吸着／エッジクランプ)
• 装置外形寸法
  W1,320mm×D1,000mm×H1,700mm
• 本体重量
  約800 kg
• 消費電力
  約1.5kW(100V)
• 検査対象基板
  Ｓi ウェーハ、各種膜付きウェーハ
• 最小検出感度
  Ｓi ウェーハ時、0.1μｍ